ごみピット発火監視装置、超高輝度照明装置、その他

半導体ウエハーの断面形状寸法を非破壊で計測するための装置です。
ウエハーエッジの寸法、角度、半径を測定することだ出来ます。

超高輝度照明装置 (UIH−1C,2D,3D)

製品 (Product)

対象物(※1)に高輝度の光をあてるとチンダル現象が発生し、表面の傷やごみ、内部の異物や気泡を目視で容易に確認することが出来ます。※1:半導体ウエハー、マスクガラス、ハードディスク、液晶パネル、レンズなど!

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修理 (Repair)

故障発生時は下記内容をメールでお知らせください。1.会社名2.ご担当者名3.ご連絡先の電話番号4.異常状況  例1:電源が入らない。  例2:ランプが直ぐに切れる。修理についてのお問い合わせ先(E_mail)

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