清掃工場のごみピット（バンカ）で発生する火災を未然に防ぐために開発した赤外線式監視装置です。自動放水銃と連動させることにより、高精度の自動照準放水が可能になります。
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半導体ウエハーの断面形状寸法を非破壊で計測するための装置です。ウエハーエッジの寸法、角度、半径を測定することだ出来ます。
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ヘイズ検査用照明装置の説明及び、製品・修理のお問い合わせ先を記載しております。
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半導体ウエハーの断面形状寸法を非破壊で計測するための装置です。ウエハーエッジの寸法、角度、半径を測定することが出来ます。
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