半導体ウエハーの断面形状寸法を非破壊で計測するための装置です。
ウエハーエッジの寸法、角度、半径を測定することが出来ます。
ウエハー断面形状等測定装置記事一覧
製品 (Product)
撮像管タイプの半導体ウエハー断面形状等測定装置（ＶＳＳＷ）をご使用のお客様に朗報！！外観の板金等を再利用し、内部電気部品類を入れ替えることにより最新システムと同様な機能を持たせるサービスを開始しました。新品をご購入いただくよりも価格が安くなります。詳しくは下記をご記入の上、メールでお問い合わせくださ...
修理 (Repair)
故障発生時は下記内容をメールでお知らせください。１．会社名２．ご担当者名３．ご連絡先の電話番号４．異常状況 例１：電源が入らない。修理についてお問い合わせ（E_mail）※特に旧タイプのシステムにつきましは修理不能の場合もあります。その場合は板金を再利用するリニューアルサービスをお勧めします。