製品 (Product)

撮像管タイプの半導体ウエハー断面形状等測定装置（ＶＳＳＷ）をご使用のお客様に朗報！！

外観の板金等を再利用し、内部電気部品類を入れ替えることにより最新システムと同様な機能を持たせるサービスを開始しました。
新品をご購入いただくよりも価格が安くなります。

詳しくは下記をご記入の上、メールでお問い合わせください。

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半導体ウエハーの断面形状寸法を非破壊で計測するための装置でエッジの寸法、角度、半径を測定することが出来ます。
測定可能なウエハーサイズは約２～１２インチで、ウエハー交換作業も容易に行えます。

測定範囲	最大厚み約2000μm（※１）深さ約1500μm
表示器	19インチ液晶ディスプレイ
有効表示画素数	768×494
データ保存媒体	SD-RAM
操作方式	ジョイスティック、スイッチ
測定機能	寸法、角度、半径
判定方式	専用レファレンスパターンによる
印字方式	プリンタ（※オプション）
使用環境	周辺温度　10～30℃ 湿度　80％以下で結露の無い環境強磁気、強振動、粉塵の無い環境
電源	AC100V±10％ 50/60Hz 150W（プリンタ含まず）

※１　最大寸法に近い場合は測定物と測定結果等の表示が重なる個所が出てきます。

寸法測定	２点の測定ポイントを指定することにより、２点間の縦、横の寸法（面取深さ、面取）を測定することができます。
角度測定	２点の測定ポイントを指定することにより、面取角度を測定することができます。
半径測定	３点の測定ポイントを指定することにより、３点を結ぶ円の半径を測定することができます。
一括測定	４点の測定ポイントを指定することにより、左面取深さ、右面取深さ、左面取、右面取、総厚み、面取残厚、左面取角度、右面取角度を測定することができます。

修理 (Repair): 発火監視装置（ＴＡＭシリーズ）、超高輝度照明装置（ＵＩＨ－１、ＵＩＨ－２、ＵＩＨ－３）、半導体ウエハー断面形状測定装置（ＷＥＭＳ、ＶＳＳＷ）等、測定装置製造メーカーサイト

ごみピット発火監視装置、超高輝度照明装置、その他