ごみピット発火監視装置、超高輝度照明装置

目視検査用の超高輝度照明装置

対象物(※1)に高輝度の光をあてるとチンダル現象が発生し、表面の傷やごみ、内部の異物や気泡を目視で容易に確認することが出来ます。

 

※1:半導体ウエハー、マスクガラス、ハードディスク、液晶パネル、レンズなど!

ラインナップ


UIH-1C型 仕様

当社設計の高輝度ハロゲンランプ(15V 150W)を使用。


UIH-2D型 仕様

当社設計の高輝度ハロゲンランプ(100V 300W)を使用。
ランプハウス内異常発熱時の自動消灯機能付。


UIH-3D型 仕様

当社設計の高輝度ハロゲンランプ(100V 650W)を使用。
ランプハウス内異常発熱時の自動消灯機能付。

UIH−1C型仕様

ランプ定格 15V 150W
設計照射径と距離 ランプ鏡筒先端から180mmでφ40mm
最高輝度 上記照射径中央にて約60万ルクス
50万ルクス時の照射径 約φ45mm
倍径時距離と輝度 360mm 約15万ルクス
輝度偏差と可変幅 最高輝度偏差:上限10%、下限20%  可変幅 10:1以上
最高輝度ランプ寿命 50時間以上
半輝度ランプ寿命 800時間以上
調光方式 SCR位相制御
ランプハウス内冷却 ファンによる強制空冷方式
ランプハウス内発熱監視 無し
ランプハウス冷却保持(※1) 無し
電源 AC100V トランス式
総重量 約7kg

※1 ランプ保護の為、主電源スイッチをOFFにしてもランプハウス内の温度が約40℃以下になるまで
    ファンによる冷却を保持する機能

 

UIH−1C外形図(PDF)
UIH−1C取扱説明書 Manual (PDF)
UIHシリーズ取扱説明書 Manual (PDF)
UIHシリーズ仕様書 Manual (PDF)

UIH−2D型仕様

ランプ定格 100V 300W
設計照射径と距離 ランプ鏡筒先端から200mmでφ70mm
最高輝度 上記照射径中央にて約40万ルクス
50万ルクス時の照射径 約φ60mm
倍径時距離と輝度 400mm 約10万ルクス
輝度偏差と可変幅 最高輝度偏差:上限10%、下限20%  可変幅 10:1以上
最高輝度ランプ寿命 75時間以上
半輝度ランプ寿命 1000時間以上
調光方式 SCR制御(50/60Hz自動切り替え)
ランプハウス内冷却 ファンによる強制空冷方式
ランプハウス内発熱監視 約100℃を超えるとランプを強制消灯
ランプハウス冷却保持(※1) 有り
電源 AC100V セミトランス式
総重量 約9kg

※1 ランプ保護の為、主電源スイッチをOFFにしてもランプハウス内の温度が約40℃以下になるまで
    ファンによる冷却を保持する機能

 

UIH−2D外形図(PDF)
UIH−2D取扱説明書 Manual (PDF)
UIHシリーズ取扱説明書 Manual (PDF)
UIHシリーズ仕様書 Manual (PDF)

UIH−3D型仕様

ランプ定格 100V 650W
設計照射径と距離 ランプ鏡筒先端から270mmでφ100mm
最高輝度 上記照射径中央にて約30万ルクス
50万ルクス時の照射径 約φ80mm
倍径時距離と輝度 560mm 約7.5万ルクス
輝度偏差と可変幅 最高輝度偏差:上限10%、下限20%  可変幅 10:1以上
最高輝度ランプ寿命 75時間以上
半輝度ランプ寿命 1800時間以上
調光方式 SCR制御(50/60Hz自動切り替え)
ランプハウス内冷却 ファンによる強制空冷方式
ランプハウス内発熱監視 約130℃を超えるとランプを強制消灯
ランプハウス冷却保持(※1) 有り
電源 AC100V セミトランス式
総重量 約13kg

※1 ランプ保護の為、主電源スイッチをOFFにしてもランプハウス内の温度が約40℃以下になるまで
    ファンによる冷却を保持する機能

 

UIH−3D外形図(PDF)
UIH−3D取扱説明書 Manual (PDF)
UIHシリーズ取扱説明書 Manual (PDF)
UIHシリーズ仕様書 Manual (PDF)

 

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修理 (Repair)
発火監視装置(TAMシリーズ)、超高輝度照明装置(UIH−1、UIH−2、UIH−3)、半導体ウエハー断面形状測定装置(WEMS、VSSW)等、測定装置製造メーカーサイト