ポリッシュウエハーヘイズ目視検査用照明装置
ポリッシュウエハーに照射すると３条の検査マークを投影します。
ＵＩＨ−１Ｈ型仕様
| ランプ定格 | 15V 150W |
|---|---|
| 設計照射径と距離 | ランプ鏡筒先端から180mmでφ40mm |
| 最高輝度 | 上記照射径中央にて約5万ルクス |
| 50万ルクス時の照射径 | 約φ45mm |
| 倍径時距離と輝度 | 360mm 約15万ルクス |
| 輝度偏差と可変幅 | 最高輝度偏差：上限10％、下限20％ 可変幅 10:1以上 |
| 最高輝度ランプ寿命 | 50時間以上 |
| 半輝度ランプ寿命 | 800時間以上 |
| 調光方式 | ＳＣＲ位相制御 |
| ランプハウス内冷却 | ファンによる強制空冷方式 |
| ランプハウス内発熱監視 | 無し |
| ランプハウス冷却保持（※１） | 無し |
| 電源 | AC100V トランス式 |
| 総重量 | 約７ｋｇ |
※１ ランプ保護の為、主電源スイッチをＯＦＦにしてもランプハウス内の温度が約40℃以下になるまで
ファンによる冷却を保持する機能
製品 (Product)関連ページ
- 修理 (Repair)
- 発火監視装置（ＴＡＭシリーズ）、超高輝度照明装置（ＵＩＨ−１、ＵＩＨ−２、ＵＩＨ−３）、半導体ウエハー断面形状測定装置（ＷＥＭＳ、ＶＳＳＷ）等、測定装置製造メーカーサイト